Tổng quan về cảm biến gia tốc, hiệu ứng áp điện trở. Nghiên cứu công nghệ ăn mòn khô sâu trên cơ sở quy trình Bosch. Mô phỏng, thiết kế và khảo sát đặc trưng của cảm biến.
Tổng quan về dây và cột nano silic. Các kỹ thuật thực nghiệm. Chế tạo dây nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt. Chế tạo đơn lớp hạt nano silica xếp khít và không xếp khít trên đế silic. Chế tạo cột nano silic bằng phương pháp ăn mòn hóa học hỗ trợ kim loại và khắc hạt nano.
