Ebooks (Sách điện tử)Authors : Nguyễn Đức, Chiến; Nguyễn Văn, Hiếu (2023)
Nghiên cứu về công đoạn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử: vật liệu bán dẫn, khuyếch tán, Oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt nhanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng, kết tủa hoá học pha hơi, công nghệ CMOS, MESFET, lưỡng cực silic. 
