-Authors : Nguyễn Văn Đường; Advisor : Chu Mạnh Hoàng (2023)
Tổng quan về công nghệ khắc cơ học sử dụng mũi dò quét; cơ sở lý thuyết và thực nghiệm; thiết kế bộ vi dịch chuyển mũi dò quét; chế tạo mũi dò quét dựa trên kỹ thuật khắc quang học và vi cơ khối ướt. 
