Theses & Dissertation (Luận án – Luận văn)Authors : Nguyễn, Việt Phương; Advisor : Hoàng, Sĩ Hồng (2016)
Tổng quan về cảm biến hóa học SAW trên cơ sở vật liệu ZnO vơi AlN/Si, nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đến đáp ứng cảm biến SAW đo khí. Thí nghiệm khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến sensor SAW đo khí. Kết quả đo đối với độ ẩm, với khí ethanol.