Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí H2 và H2S trên cơ sở màng SnO2 biến tính đảo xúc tác Micro-nano

Abstract

Giới thiệu chung về cảm biến khí dựa trên ôxít kim loại bán dẫn; vật liệu SnO2 ứng dụng cho cảm biến khí; nguyên tắc hoạt động, hiện tượng uốn cong vùng năng lượng và cơ chế tương tác bề mặt. Thực nghiệm linh kiện cảm biến khí và công nghệ chế tạo. Cảm biến khí H2 trên cơ sở màng mỏng SnO2 biến tính Pd (SnO2/Pd), biến tính CuO (SnO2/CuO).