Nghiên cứu ảnh hưởng của một số yếu tố chính đến sự hình thành lớp thấm nitơ bằng phương pháp thấm nitơ plasma xung

Abstract

Tổng quan plasma sử dụng trong công nghệ thấm nitơ plasma, tình hình nghiên cứu thấm nitơ plasma cho phép SKD61. Nêu các phương pháp nghiên cứu. Kết quả nghiên cứu ảnh hưởng của một số thông số công nghệ chính đến khuếch đại plasma, đến sự hình thành lớp thấm.