Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2

Abstract

Khái quát chung về cảm biến khí và các thông số đặc trưng; cấu trúc, phương pháp chế tạo, và đặc tính nhạy khí của vật liệu SnO2. Thực nghiệm các công nghệ chế tạo vi điện tử, thiết kế và chế tạo cảm biến bằng công nghệ vi điện tử, chế tạo sol SnO2 và pha tạp 1% wt La2O3, quá trình đóng vỏ khảo sát đặc trưng nhạy khí của cảm biến. Kết quả và thảo luận hình thái bề mặt, đặc trưng cấu trúc vật liệu của màng nhạy khí, chế tạo cảm biến. Khảo sát công suất tiêu thụ, đặc trưng nhạy khí của cảm biến.