Nghiên cứu chế tạo và khảo sát tính chất của màng mỏng nhớ hình Niti chế tạo bằng phương pháp đồng phún xạ

Abstract

Khái niệm chung, phương pháp chế tạo và khảo sát hợp kim Nitinol. Thực nghiệm và kết quả khảo sát thành phần nguyên tử Titan và Niken của màng Niti, kết quả phân tích ảnh nhiễu xạ tia X, các yếu tố ảnh hưởng tới cấu trúc của màng mỏng, biện pháp bóc tách màng Nitinol từ đế Silic. Kết quả phân tích quét nhiệt vi sai.