Thông tin tài liệu
| Title: | Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc điện trở ba bậc tự do trên cơ sở công nghệ vi cơ khối khô |
| Authors: | Nguyễn Văn Minh |
| Advisor: | Vũ Ngọc Hùng |
| Keywords: | Bộ cảm biến tốc độ; Công nghệ chế tạo |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội |
| Abstract: | Tổng quan về cảm biến gia tốc, hiệu ứng áp điện trở. Nghiên cứu công nghệ ăn mòn khô sâu trên cơ sở quy trình Bosch. Mô phỏng, thiết kế và khảo sát đặc trưng của cảm biến. |
| Description: | Luận văn Thạc sỹ khoa học - Ngành Khoa học vật liệu |
| URI: | http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/13119 |
| Appears in Collections: | Ts-Vật liệu |
ABSTRACTS VIEWS
114
VIEWS & DOWNLOAD
312
Files in This Item:
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.