Thông tin tài liệu
| Nhan đề : | Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc điện trở ba bậc tự do trên cơ sở công nghệ vi cơ khối khô |
| Tác giả : | Nguyễn Văn Minh |
| Người hướng dẫn: | Vũ Ngọc Hùng |
| Từ khoá : | Bộ cảm biến tốc độ; Công nghệ chế tạo |
| Năm xuất bản : | 2008 |
| Nhà xuất bản : | Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội |
| Tóm tắt : | Tổng quan về cảm biến gia tốc, hiệu ứng áp điện trở. Nghiên cứu công nghệ ăn mòn khô sâu trên cơ sở quy trình Bosch. Mô phỏng, thiết kế và khảo sát đặc trưng của cảm biến. |
| Mô tả: | Luận văn Thạc sỹ khoa học - Ngành Khoa học vật liệu |
| URI: | http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/13119 |
| Trong bộ sưu tập: | Ts-Vật liệu |
XEM MÔ TẢ
114
XEM & TẢI
312
Danh sách tệp tin đính kèm:
Khi sử dụng tài liệu trong thư viện số bạn đọc phải tuân thủ đầy đủ luật bản quyền.