Thông tin tài liệu

Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorVũ Ngọc Hùngvi
dc.contributor.authorNguyễn Văn Minhvi
dc.date.accessioned2019-03-08T11:02:48Z-
dc.date.available2019-03-08T11:02:48Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.other000000104975vi
dc.identifier.urihttp://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/13119-
dc.descriptionLuận văn Thạc sỹ khoa học - Ngành Khoa học vật liệuvi
dc.description.abstractTổng quan về cảm biến gia tốc, hiệu ứng áp điện trở. Nghiên cứu công nghệ ăn mòn khô sâu trên cơ sở quy trình Bosch. Mô phỏng, thiết kế và khảo sát đặc trưng của cảm biến.vi
dc.language.isovivi
dc.publisherTrường Đại học Bách Khoa Hà Nộivi
dc.subjectBộ cảm biến tốc độvi
dc.subjectCông nghệ chế tạovi
dc.subject.lccTK7872vi
dc.titleNghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc điện trở ba bậc tự do trên cơ sở công nghệ vi cơ khối khôvi
dc.typeThesisvi
Appears in Collections:Ts-Vật liệu

Files in This Item:
Thumbnail
  • 104975.pdf
      Restricted Access
    • Size : 4,03 MB

    • Format : Adobe PDF

  • Thumbnail
  • 104975-TT-EN.pdf
      Restricted Access
    • Size : 51,44 kB

    • Format : Adobe PDF

  • Thumbnail
  • 104975-tt-VN.pdf
      Restricted Access
    • Size : 73,11 kB

    • Format : Adobe PDF



  • Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.