Nghiên cứu vật lý và công nghệ màng ZnO, ZnO:In lắng đọng bằng phương pháp phun phủ nhiệt phân hỗ trợ siêu âm ứng dụng trong cấu trúc pin mặt trời màng mỏng

Abstract

Trình bày cơ sở vật lý và các thông số cơ bản của màng dẫn điện trong suốt. Tổng quan vật liệu ZnO pha tạp và không pha tạp. Tổng quan về các phương pháp lắng đọng màng. Trình bày phương pháp phun nhiệt phân hỗ trợ siêu âm và thực nghiệm chế tạo màng. Các phương pháp phân tích tính chất của màng. Kết quả thực nghiệm đã thu được, phân tích và thảo luận các kết quả.