Thông tin tài liệu
| Title: | Nghiên cứu, chế tạo vi động cơ tĩnh điện dẫn động bằng cánh mềm dựa trên công nghệ MEMS |
| Authors: | Nguyễn Hoàng Việt |
| Advisor: | Phạm Hồng Phúc |
| Keywords: | Cơ điện tử; Công nghệ MEMS; Công nghệ vi cơ điện tử |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Trường đại học Bách Khoa Hà Nội |
| Abstract: | Tổng quan về công nghệ vi cơ điện tử MEMS, vi động cơ; tính toán và mô phỏng; chế tạo, đo đạc và đánh giá. |
| URI: | http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/16114 |
| Appears in Collections: | Ths-Cơ khí |
ABSTRACTS VIEWS
91
VIEWS & DOWNLOAD
61
Files in This Item:
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.