Nghiên cứu, chế tạo vi động cơ tĩnh điện dẫn động bằng cánh mềm dựa trên công nghệ MEMS

Thông tin tài liệu

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Phạm Hồng Phúc	-
dc.contributor.author	Nguyễn Hoàng Việt	-
dc.date.accessioned	2020-09-28T08:23:24Z	-
dc.date.available	2020-09-28T08:23:24Z	-
dc.date.issued	2019	-
dc.identifier.other	000000319195	-
dc.identifier.uri	http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/16114	-
dc.description.abstract	Tổng quan về công nghệ vi cơ điện tử MEMS, vi động cơ; tính toán và mô phỏng; chế tạo, đo đạc và đánh giá.	-
dc.publisher	Trường đại học Bách Khoa Hà Nội	-
dc.subject	Cơ điện tử	-
dc.subject	Công nghệ MEMS	-
dc.subject	Công nghệ vi cơ điện tử	-
dc.subject.lcc	TK7875	-
dc.title	Nghiên cứu, chế tạo vi động cơ tĩnh điện dẫn động bằng cánh mềm dựa trên công nghệ MEMS	-
Appears in Collections:	Ths-Cơ khí

Files in This Item:

319195.pdf
Restricted Access

319195-tt.pdf
Restricted Access