Nghiên cứu hiệu ứng tự đốt nóng của dây nano SnO2 ứng dụng cho cảm biến khí

Abstract

Tổng quan; Cơ sở mô phỏng và thực nghiệm; Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc mems kiểu âm thoa; Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến gia tốc ba bậc tự do.