Thông tin tài liệu
| Title: | Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh (QCM) sử dụng sợi nano |
| Authors: | Lý Văn Đạt |
| Advisor: | Vũ Ngọc Hùng |
| Keywords: | Chế tạo cảm biến; Công nghệ MEMS. |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội |
| Abstract: | Trình bày sơ lược lịch sử phát triển và ứng dụng của công nghệ MEMS. Các phương pháp tổng hợp sợi nano ZnO và các bước chế tạo QCM. Phân tích sự ảnh hưởng của nồng độ, thời gian ủ đến sự mọc sợi nano ZnO. |
| Description: | Luận văn thạc sỹ - Ngành Vật liệu điện tử |
| URI: | http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/1921 |
| Appears in Collections: | Ths-Vật liệu |
ABSTRACTS VIEWS
99
VIEWS & DOWNLOAD
105
Files in This Item:
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.