Khảo sát tính nhạy khí của cảm biến dựa trên cấu trúc vi cân tinh thể thạch anh (QCM) được phủ lớp ti tan ô xít có cấu trúc nano

Abstract

Trình bày tổng quan về vi cân tinh thể thạch anh QCM, vật liệu có cấu trúc nano TiO2. Chế tạo thanh naono TiO2 bằng phương pháp thủy nhiệt, chế tạo ống nano TiO2 bằng phương pháp thay thế. Chế tạo thanh nano TiO2 bằng phương pháp thủy nhiệt, chế tạo ống nano TiO2 bằng phương pháp thay thế, khảo sát độ nhạy khí của cảm biến.