Thông tin tài liệu
| Title: | Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử |
| Authors: | Nguyễn Đức, Chiến Nguyễn Văn, Hiếu |
| Keywords: | Mạch vi điện tử; Chế tạo |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Nhà xuất bản Bách Khoa Hà Nội |
| Abstract: | Nghiên cứu về công đoạn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử: vật liệu bán dẫn, khuyếch tán, Oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt nhanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng, kết tủa hoá học pha hơi, công nghệ CMOS, MESFET, lưỡng cực silic. |
| URI: | http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/22605 |
| Link item primary: | https://hust.nxbbachkhoa.vn/cong-nghe-che-tao-mach-vi-dien-tu-b10688.html |
| ISBN: | 978-64-9998-08-9 |
| Appears in Collections: | NXB-Điện tử viễn thông |
ABSTRACTS VIEWS
231
VIEWS & DOWNLOAD
69
Files in This Item:
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.