Thông tin tài liệu
| Nhan đề : | Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử |
| Tác giả : | Nguyễn Đức, Chiến Nguyễn Văn, Hiếu |
| Từ khoá : | Mạch vi điện tử; Chế tạo |
| Năm xuất bản : | 2023 |
| Nhà xuất bản : | Nhà xuất bản Bách Khoa Hà Nội |
| Tóm tắt : | Nghiên cứu về công đoạn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử: vật liệu bán dẫn, khuyếch tán, Oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt nhanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng, kết tủa hoá học pha hơi, công nghệ CMOS, MESFET, lưỡng cực silic. |
| URI: | http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/22605 |
| Liên kết tài liệu gốc: | https://hust.nxbbachkhoa.vn/cong-nghe-che-tao-mach-vi-dien-tu-b10688.html |
| ISBN : | 978-64-9998-08-9 |
| Trong bộ sưu tập: | NXB-Điện tử viễn thông |
XEM MÔ TẢ
231
XEM & TẢI
69
Danh sách tệp tin đính kèm:
Khi sử dụng tài liệu trong thư viện số bạn đọc phải tuân thủ đầy đủ luật bản quyền.