Thông tin tài liệu

Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorNguyễn Đức, Chiến-
dc.contributor.authorNguyễn Văn, Hiếu-
dc.date.accessioned2023-06-23T08:20:49Z-
dc.date.available2023-06-23T08:20:49Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.isbn978-64-9998-08-9vi
dc.identifier.otherE00000000221vi
dc.identifier.urihttp://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/22605-
dc.description.abstractNghiên cứu về công đoạn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử: vật liệu bán dẫn, khuyếch tán, Oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt nhanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng, kết tủa hoá học pha hơi, công nghệ CMOS, MESFET, lưỡng cực silic.vi
dc.description.urihttps://hust.nxbbachkhoa.vn/cong-nghe-che-tao-mach-vi-dien-tu-b10688.htmlvi
dc.formatPDFvi
dc.language.isovivi
dc.publisherNhà xuất bản Bách Khoa Hà Nộivi
dc.subjectMạch vi điện tửvi
dc.subjectChế tạovi
dc.subject.lccTK7874vi
dc.titleCông nghệ chế tạo mạch vi điện tửvi
dc.typeEbooks (Sách điện tử)vi
Appears in Collections:NXB-Điện tử viễn thông

Files in This Item:
Thumbnail
  • E00000000221.pdf
      Restricted Access
    • Size : 243,43 kB

    • Format : Adobe PDF



  • Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.