Thông tin tài liệu
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Nguyễn Đức, Chiến | - |
dc.contributor.author | Nguyễn Văn, Hiếu | - |
dc.date.accessioned | 2023-06-23T08:20:49Z | - |
dc.date.available | 2023-06-23T08:20:49Z | - |
dc.date.issued | 2023 | - |
dc.identifier.isbn | 978-64-9998-08-9 | vi |
dc.identifier.other | E00000000221 | vi |
dc.identifier.uri | http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/22605 | - |
dc.description.abstract | Nghiên cứu về công đoạn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử: vật liệu bán dẫn, khuyếch tán, Oxy hoá nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt nhanh, khắc và ăn mòn, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng, kết tủa hoá học pha hơi, công nghệ CMOS, MESFET, lưỡng cực silic. | vi |
dc.description.uri | https://hust.nxbbachkhoa.vn/cong-nghe-che-tao-mach-vi-dien-tu-b10688.html | vi |
dc.format | vi | |
dc.language.iso | vi | vi |
dc.publisher | Nhà xuất bản Bách Khoa Hà Nội | vi |
dc.subject | Mạch vi điện tử | vi |
dc.subject | Chế tạo | vi |
dc.subject.lcc | TK7874 | vi |
dc.title | Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử | vi |
dc.type | Ebooks (Sách điện tử) | vi |
Appears in Collections: | NXB-Điện tử viễn thông |
Files in This Item:
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.