Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic

Abstract

Tổng quan về công nghệ khắc cơ học sử dụng mũi dò quét; cơ sở lý thuyết và thực nghiệm; thiết kế bộ vi dịch chuyển mũi dò quét; chế tạo mũi dò quét dựa trên kỹ thuật khắc quang học và vi cơ khối ướt.