OtherAuthors : Nguyễn, Thị Phương Mai (2014)
Trình bày kỹ thuật chân không, hệ chân không, tính toán thiết kế hệ chân không, màng mỏng quang học, công nghệ chế tạo màng mỏng quang học, lớp phủ bảo vệ và chống mòn, công nghệ chế tạo lớp phủ cứng chống mòn, đo kiểm tra các thông số kỹ thuật của lớp phủ cứng. 
