Nghiên cứu mô phỏng, chế tạo cảm biến đo khí H2 trên cơ sở sóng âm bề mặt sử dụng vật liệu tổ hợp Paladi/Graphene

Abstract

Tổng quan về cảm biến Saw đo khí H2; nghiên cứu cơ chế hoạt động của cảm biến Saw đo khí H2 thông qua mô phỏng FEM; thiết kế, chế tạo cảm biến Saw đo khí H2 và khảo sát một số nhân tố ảnh hưởng; kết luận và hướng phát triển.