Research on gas selecdtivity of TA2O5/AGPT/SNO2 multilayer oxide thin films applications in electronic noses

Abstract

Giới thiệu các yếu tố cần thiết của vật liệu MOS và vai trò của chúng trong ứng dụng phát hiện khí, nguyên tắc cơ bản của kỹ thuật và cơ chế cảm biến khí, các phương pháp nâng cao tính chọn lọc; quá trình chế tạo đa cảm biến, các phương pháp mô tả đặc tính: nhiễu xạ tia X, kính hiển vi điện tử quét và quang phổ tia X phân tán năng lượng, quang phổ quang điện tử tia X; đo cảm biến khí; nghiên cứu hình thái vật liệu và cấu trúc màng mỏng SnO2 đồng pha tạp Ag-Pt, màng mỏng SnO2/Ag-pt/Ta2O5.