Nghiên cứu ứng dụng dòng khí siêu âm để làm sạch dị vật kích thước siêu nhỏ trên bề mặt sản phẩm

Abstract

Trình bày kết quả nghiên cứu về máy tự động làm sạch dị vật kích thước micro trên sản phẩm linh kiện điện tử/bán dẫn sử dụng trong phòng sạch dựa trên tiêu chuẩn class 10 và các tiêu chuẩn sản xuất của công ty Samsung Việt Nam. Thiết kế cơ cấu đầu thổi khí siêu âm và máy tự động cáp hàng. Sử dụng phần mềm Ansys Fluent mô phỏng dòng khí từ đó để điều chỉnh thiết kế đầu thổi.