An investigation of multi-layer metan oxide thin film for multisensor application towards polluted gas analysis (CO, NO2, HC)

Abstract

Phát triển và tối ưu hóa các màng mỏng oxit kim loại đa lớp nhằm cải thiện hiệu suất của các cảm biến khí cho việc phân tích các khí ô nhiễm như CO, NO2 và HC. Đề xuất một phương pháp chế tạo màng mỏng oxit kim loại với cấu trúc đa lớp để tăng cường khả năng nhạy cảm và chọn lọc của cảm biến. Các màng mỏng này không chỉ có khả năng nhận diện các loại khí ô nhiễm khác nhau mà còn có thể hoạt động hiệu quả trong điều kiện môi trường đa dạng. Thông qua việc phân tích các đặc tính điện, cấu trúc và hiệu suất của các màng mỏng, đóng góp vào việc phát triển các công nghệ cảm biến khí tiên tiến, góp phần cải thiện khả năng giám sát và kiểm soát ô nhiễm không khí.