Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ

Abstract

Tổng quan về cảm biến từ dạng sóng âm bề mặt. Tìm hiểu và lựa chọn các loại vật liệu dùng trong nghiên cứu và chế tạo cảm biến SAW-MO và các phương pháp tính toán, mô phỏng cảm biến. Lựa chọn cấu trúc SAW-MO và mô phỏng cải thiện độ nhạy cho cảm biến từ SAW-MO. Nghiên cứu, chế tạo cảm biến từ SAW-MO trên cơ sở vật liệu nhạy từ FeNiPVA.