Nghiên cứu chế tạo màng mỏng sắt điện pha tạp trên cơ sở vật liệu BaTiO3 nhằm ứng dụng trong linh kiện tích trữ năng lượng

Abstract

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng vật liệu sắt điện trên cơ sở BaTiO3(BT) pha tạp Sr(BST) và Zr(BZT) nhằm ứng dụng trong linh kiện tích trữ năng lượng. Các màng được chế tạo bằng phương pháp sol-gel sau đó khảo sát cấu trúc, vi cấu trúc và tính chất điện. Kết quả cho thấy màng BST và BZAT có mật độ dòng thấp hơn, hằng số điện môi cao hơn và đặc tính tích điện môi tốt hơn so với màng BT nguyên chất. Đặc biệt, màng BZT có khả năng chịu điện áp cao tới 70V, cho thấy tiềm năng ứng dụng vượt trội trong các thiết bị tích năng lượng điện.