Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu Tuning Fork.

Abstract

Tổng quan về cảm biến vi cơ điện tử đo vận tốc góc, nguyên lý hoạt động, đặc trưng độ nhạy, đặc trưng cộng hưởng, hiệu ứng suy hao, khả năng ứng dụng và xác định cấu trúc cảm biến,... Trình bày quá trình tối ưu hóa thiết kế cấu trúc của cảm biến để nâng cao chuyển vị cảm ứng bằng cách giảm tần số,..