Nghiên cứu chế tạo vật liệu oxit kim loại bán dẫn có cấu trúc một chiều ứng dụng cho cảm biến khí Clo.

Abstract

Nêu tính chất và mức độ nguy hiểm của khí Cl2; tổng quan về cảm biến khí, về các loại vật liệu oxit bán dẫn ZnO, In2O3, WO3, SnO2 có cấu trúc một chiều. Nêu các bước chế tạo vi điện cực với các đảo xúc tác bằng công nghệ MEMS, quy trình mọc các dây, thanh nano ZnO, In2O3, WO3, SnO2 trực tiếp lên các điện cực. Kết quả chế tạo điện cực, hình thái và vi cấu trúc của các dây nano mọc trực tiếp lên điện cực...