Nghiên cứu hiệu ứng tự đốt nóng và biến tính bề mặt dây nano oxit kim loại bán dẫn nhằm ứng dụng cho cảm biến khí.

Abstract

Tổng quan về cảm biến khí, vật liệu và cơ chế mọc dây nano SnO2, cảm biến khí dựa trên cơ sở hiệu ứng tự đốt nóng. Thực nghiệm chế tạo dây nano SnO2, chế tạo cảm biến khí tự đốt nóng dựa trên cơ sở dây nano SnO2, phương pháp khảo sắt bằng hiển vi điện tử quét (SEM), khảo sát đặc tính nhạy khí. Tối ưu quá trình phân tán dây nano SnO2 trên đế Si, kết quả chế tạo cảm biến.