Nghiên cứu chế tạo và khảo sát tính chất vật lý của dây nano si bằng phương pháp bốc bay nhiệt

Abstract

Nêu tính chất quang của vật liệu bán dẫn, vật liệu silic tinh thể khối, silic cấu trúc nano, cơ chế VLS. Thực nghiệm chế tạo dây nano silic, các phương pháp phân tích tính chất của vật liệu. Kết quả khảo sát sự ảnh hưởng của độ dày lớp xúc tác màng phủ vàng đến hình thái cấu trúc của quá trình thành dây nano silic,....