(Springer Nature, 2023) Adam Raptakis,... [et. al.]
Giới thiệu một hệ thống Laser Doppler Vibrometer (LDV) dị tần tích hợp trên nền silicon nitride, sử dụng cơ chế dịch tần quang học nhờ bộ điều biến ứng suất-quang với màng mỏng PZT. Hai phương pháp điều chế (serrodyne và SSB) được khảo sát, cho thấy hiệu quả triệt dải phụ cao và băng thông rộng hơn nhờ cấu hình điện cực top-top. Hệ thống đạt dịch tần tối đa 2.5 MHz với công suất tiêu thụ thấp, đồng thời chứng minh khả năng đo dao động trong dải kHz, phù hợp cho các ứng dụng đo lường và cảm biến quang học chính xác.