(Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội, 2011) Lý Văn Đạt; Vũ Ngọc Hùng
Trình bày sơ lược lịch sử phát triển và ứng dụng của công nghệ MEMS. Các phương pháp tổng hợp sợi nano ZnO và các bước chế tạo QCM. Phân tích sự ảnh hưởng của nồng độ, thời gian ủ đến sự mọc sợi nano ZnO.
