Nghiên cứu chế tạo dây nano silic đơn tinh thể trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt

Abstract

Tổng quan về dây nano silic, một số ứng dụng cơ bản của dây nano silic đơn tinh thể, khảo sát một số phương pháp chế tạo dây nano silic. Quy trình chế tạo của dây nano silic đơn tinh thể bằng công nghệ vi cơ khối ướt phiến vật liệu silic đơn tinh thể định hướng,...Kết quả thực nghiệm về chế tạo dây nano silic thông qua ảnh hiển vi điện tử quét.