Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano

Abstract

Tổng quan về kĩ thuật khắc đầu dò quét, lịch sử hình thành, các phương pháp chế tạo và phương pháp chấp hành đầu dò. Thiết kế đầu dò quét. Kết quả nghiên cứu đặc trưng hoạt động của các cấu trúc đã được thiết kế.