Nghiên cứu các tính chất của màng PZT nhằm chế tạo cảm biến áp điện định hướng ứng dụng trong y sinh

Abstract

Cơ sở lý thuyết vật liệu sắt điện vật liệu PZT. Công nghệ chế tạo, phương pháp chế tạo màng sắt điện PZT, khảo sát các tính chất của màng, công nghệ chế tạo linh kiện. Nghiên cứu tính chất của màng Sol-gel PZT. Nghiên cứu ảnh hưởng của pha tạp Fe3+, Nb5+ đến tính chất của màng PZT. Nghiên cứu chế tạo linh kiện Piezomems sử dụng màng áp điện PZT.