Thông tin tài liệu


Title: Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc điện trở ba bậc tự do trên cơ sở công nghệ vi cơ khối khô
Authors: Nguyễn Văn Minh
Advisor: Vũ Ngọc Hùng
Keywords: Bộ cảm biến tốc độ; Công nghệ chế tạo
Issue Date: 2008
Publisher: Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội
Abstract: Tổng quan về cảm biến gia tốc, hiệu ứng áp điện trở. Nghiên cứu công nghệ ăn mòn khô sâu trên cơ sở quy trình Bosch. Mô phỏng, thiết kế và khảo sát đặc trưng của cảm biến.
Description: Luận văn Thạc sỹ khoa học - Ngành Khoa học vật liệu
URI: http://dlib.hust.edu.vn/handle/HUST/13119
Appears in Collections:Ts-Vật liệu
ABSTRACTS VIEWS

8

VIEWS & DOWNLOAD

4

Files in This Item:
Thumbnail
  • 104975.pdf
      Restricted Access
    • Size : 4,03 MB

    • Format : Adobe PDF

  • Thumbnail
  • 104975-TT-EN.pdf
      Restricted Access
    • Size : 51,44 kB

    • Format : Adobe PDF

  • Thumbnail
  • 104975-tt-VN.pdf
      Restricted Access
    • Size : 73,11 kB

    • Format : Adobe PDF



  • Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.