Khảo sát cấu trúc và tính chất quang của dây nano silic chế tạo bằng phương pháp phún xạ và bốc bay nhiệt

Abstract

Giới thiệu vật liệu khối silic; tính chất, sự hình thành, một số phương pháp chế tạo, ứng dụng của dây nano Silic. Quy trình, thiết bị, quá trình thực nghiệm, thiết bị phân tích mẫu. Phân tích hạt xúc tác vàng trên bề mặt đế, hình thái dây nano, kết quả đo phổ huỳnh quang, đo phổ Raman.