Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano

Abstract

Tổng quan về khắc đầu dò quét; cơ sở lý thuyết và mô phỏng; thiết kế và mô phỏng bộ chấp hành trục Z; tính toán thiết kế và mô phỏng bộ vi dịch chuyển ba chiều XYZ; chế tạo mũi dò bằng phương pháp ăn mòn ướt.