Nghiên cứu chế tạo và tính chất của một số vật liệu nano trên cơ sở Si và Ge

Abstract

Tổng quan về vật liệu nano Si và Ge; phương pháp chế tạo và khảo sát đặc tính của vật liệu; nghiên cứu nano tinh thể Si chế tạo bằng phương pháp bốc bay nhiệt; nghiên cứu nano tinh thể Si chế tạo bằng phương pháp ăn mòn hóa học có sự hỗ trợ kim loại; nghiên cứu nano tinh thể Ge trong nền vật liệu SiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ ca tốt.