Nghiên cứu chế tạo vật liệu nhạy khí trên cơ sở SnO2, và ZnO hoạt động ở nhiệt độ phòng/tự đốt nóng nhằm phát triển cảm biến khí trên đế dẻo

Abstract

Tổng quan cảm biến khí trên đế dẻo dùng vật liệu SMO cấu trúc nano; hiện tượng hấp phụ trên bề mặt vật liệu SMO; vật liệu nhạy khí trên cơ sở SnO2 và ZnO thuần, biến tính bằng kim loại quý hoạt động ở nhiệt độ phòng. Nêu quy trình chế tạo chíp điện tử, thực nghiệm chế tạo vật liệu nhạy khí, các phương pháp phân tích hình thái và vi cấu trúc vật liệu. Cảm biến khí NO2 hoạt động ở nhiệt độ phòng/tự đốt nóng trên cơ sở vật liệu SnO2 và ZnO định hướng phát triển cảm biến khí trên đế dẻo. Cảm biến khí hydro hoạt động ở nhiệt độ phòng/tự đốt nóng dùng vật liệu màng mỏng SnO2/Pt chế tạo trên đế dẻo Kapton.