Ths-Vật liệu
Duyệt Ths-Vật liệu theo Tác giả "Bùi Phú Quý"
- Ấn phẩmStudy and fabrication of single crystal silicon nanowires based on nano imprinting technology(Trường đại học Bách Khoa Hà Nội, 2025) Bùi Phú Quý; Chu Mạnh HoàngTrình bày quy trình chế tạo dây nano silicon đơn tinh thể (SiNWs) bằng công nghệ in nano (NIL), nhằm đạt độ phân giải cao, chi phí thấp và khả năng sản xuất hàng loạt. Các SiNWs thu được có kích thước từ 50–300 nm, đồng đều và có tiết diện hình thang hoặc tam giác. Phương pháp NIL khắc phục các hạn chế của quang khắc truyền thống, đạt độ phân giải dưới 10 nm. Kết quả phân tích SEM và mô phỏng dẫn sóng cho thấy SiNWs cho khả năng truyền ánh sáng hiệu quả tại bước sóng 1,55 µm. Nghiên cứu chứng minh tiềm năng ứng dụng của SiNWs trong thiết bị bán dẫn, cảm biến và quang điện tử.