Ths-Vật liệu
Duyệt Ths-Vật liệu theo Chủ đề "Bộ cảm biến tốc độ"
Ấn phẩm
Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc điện trở ba bậc tự do trên cơ sở công nghệ vi cơ khối khô
2008, Nguyễn Văn Minh, Vũ Ngọc Hùng
Tổng quan về cảm biến gia tốc, hiệu ứng áp điện trở. Nghiên cứu công nghệ ăn mòn khô sâu trên cơ sở quy trình Bosch. Mô phỏng, thiết kế và khảo sát đặc trưng của cảm biến.